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型號

Q150V S Plus

放置地點

繼續教育學院104

負責人

徐曉龍/王向科

聯系方式

15656017000/13424924251

使用方式

培訓預約使用

主要技術指標

1. 真空系統：5m3/hr旋轉機械泵＋70L/s風冷渦輪分子泵（儀器內部）；系統極限真空度為1 x 10-6 mbar；濺射工作真空范圍：鍍金時真空在5x 10-3和1 x 10-1mbar之間；

2. 濺射電流：0-150mA連續可調；采用低電壓恒流冷濺射方式；

3. 濺射時間：可預設濺射時間；一次真空條件下1-3600秒連續可調；

4. 濺射靶材：標配直徑57mm圓片鉻靶1塊。

研究領域

制備各類金屬、非金屬的功能性薄膜。

測試內容

無

管理辦法

□有 □無

委托測試單

□有 □無

儀器狀態

正常